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電感耦合等離子體光譜儀開機前檢是維護和保養是保持光譜分析儀性能良好和硬件完好的關鍵。測定前操作者必須做好合理的安排，實現安排好各項準備工作，切忌在同一段時間里對光譜分析儀主機開開停停，儀器頻繁開啟容易造成損壞，這是因為儀器在每次開啟的時候，瞬間電流大大高于運行正常時的電流，瞬間的脈沖沖擊，容易造成功率管燈絲斷絲，碰極短路及過早老化等，用量能否連續工作。
一般氬氣的儲量至少一個滿瓶以上才可以開機，檢查氬氣凈化機工作狀態是否正常，如果不正常或者不能工作，馬上更換高純度氬(99.999%);然后首先開啟氬氣凈化機，打開氬氣，檢查儀器氣體系統工作是否正常，將氬氣出口壓力調在(0.45~0.6)MPA之間。
檢查循環水機的連接管路是否有泄漏，檢查循環水機的電源連接是否正常，檢查循環水機內循環液的液面是否在線上;在正常情況下，推薦半年更換循環液。循環水機的出水壓力應為(0.31!0.55)MPa。
有的水平(軸向)觀測光譜分析儀需要用空壓機切割尾焰，還要檢查壓縮機的工作狀態氣壓是否在0.6MPa，檢查完畢狀態正常后開啟循環冷卻水和空氣壓縮機，打開穩壓電源，檢查穩壓電源是否欠壓工作，如果電壓正常在1min后打開主電源開關，否則要等穩壓電源穩定在打開光譜分析儀主機電源;如果打開主機電源后出現指示燈不亮和接觸器不吸合等現象，可檢查機內電源箱側面1A和5A的熔絲是否燒壞;打開主機電源后光學恒溫系統(FPA)開始升溫，新型號光譜分析儀的預熱時間一般在30min左右就可以達到恒溫狀態，老型號的儀器大約需要(2~3)h。
然后依次打開計算機主機、顯示器和打印機，進入操作系統，打開循環水開關;如果選擇波長為190nm以下的譜線，還需要打開多色器對檢測器進行吹掃。特別注意，先打開氬氣，再打開穩壓電源，最后打開主機電源，順序千萬不能顛倒。
