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1、這要從ICP光譜儀形成的等離子體過程去分析，一般來說，點火時設備提供的功率最大，可以保證Ar的電離充分從而有助于形成等離子體火炬，但正常工作時，設備的功率一般都是最大功率的80%左右，而且為了保證輸出功率的穩定性，都加了功率反饋，這樣在測試過程中，進樣的溶液如果不均勻或有空氣進入，可能會局部加電離，因為等離子體與高壓方面是通過線圈耦合的，這樣等離子體電流加大，將影響功率調節，功率調節將出現誤判，通過反饋，自動降低輸出功率，因為溶液只是一時現象，而功率的調節確是實時的，當將功率調小以后，而溶液確恢復正常，此時因Ar氣電離成分不夠，不能維持等離子體，從而熄火，因此在熄火后須及時關高壓，否則容易出問題。
2. 光源電路工作不穩定，電路的溫度參數問題，下次開機前先想辦法把光源部分預熱以下。
3. 簡單說就是由于等離子和高壓耦合，所以任何使等離子體不穩定的因素（包括試樣不均勻等）就會熄火。