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1. ICP-MS：大致分為離子源（電感偶和等離子體）和質量分析器（磁式速度、方向聚焦分析器；四極桿；飛行時間等）；
ICP-OES：為光源（電感偶和等離子體）、分光系統、檢測系統；
ICP-OES靈敏度高低檢測限，較寬的動態線性范圍和多元素同時分析，用于痕量及部分常量元素定性定量分析，應用的行業范圍也較廣；ICP-MS具有元素、同位素、形態分析等定性定量分析能力，檢測下限水平優于ICP-OES。
2. 應用領域比較接近，只是icp-ms的檢出限要低很多。
3. ICP-OES由于其可以覆蓋PPB級至百分含量范圍，在一般的實驗中運用較多。比如金屬材料（不含超純）、化工等各種行業。
ICP-MS其檢出限非常低，但是對于總的離子量有限制，因此分析基體復雜體系的方法檢測限不一定比ICP-OES低。主要在環保/水質/電子材料（尤其是半導體行業）等方面運用較多。
另外由于ICP-MS對于所使用的試劑的純度、分析用水、實驗環境等要求均較高，而且儀器使用也較ICP-OES復雜，因此對于絕大部分分析用ICP-OES就足夠了。
4. 對于擁有ICP-AES技術背景的人來講，ICP-MS是一個以質譜儀作為檢測器的等離子體(ICP)，而質譜學家則認為ICP-MS是一個以ICP為源的質譜儀。事實上．ICP-AES和ICP—MS的進樣部分及等離子體是極其相似的。ICP-AES測量的是光學光譜(165-800nm)．ICP-MS 測量的是離子質譜，提供在3-250amu范圍內每一個原子質量單位(amu)的信息，因此，ICP-MS除了元素含量測定外，還可測量同位素。檢出限ICP-MS的檢出限給人極深刻的印象，其溶液的檢出限大部份為ppt級(必需記牢，實際的檢出限不可能優于你實驗室的清潔條件)，石墨爐AAS的檢出限為亞ppb級，ICP-AES大部份元素的檢出限為1—10ppb，一些元素在潔凈的試樣中也可得到令人注目的亞ppb級的檢出限。必須指出，ICP— MS的ppt級檢出限是針對溶液中溶解物質很少的單純溶液而言的，若涉及固體中濃度的檢出限，由于ICP-MS的耐鹽量較差，ICP-MS檢出限的優點會變差多達50倍，一些普通的輕元素(如S、Ca、Fe、K、Se)在ICP-MS中有嚴重的干擾，也將惡化其檢出限。
5. ICP-OES與ICP-MS在用途上的區別
ICP-MS：大致分為離子源（電感偶和等離子體）和質量分析器（磁式速度、方向聚焦分析器；四極桿；飛行時間等）；
ICP-OES：為光源（電感偶和等離子體）、分光系統、檢測系統；
ICP-OES靈敏度高低檢測限，較寬的動態線性范圍和多元素同時分析，用于痕量及部分常量元素定性定量分析，應用的行業范圍也較廣；ICP-MS具有元素、同位素、形態分析等定性定量分析能力，檢測下限水平優于ICP-OES。
ICP-OES由于其可以覆蓋PPB級至百分含量范圍，在一般的實驗中運用較多。比如金屬材料（不含超純）、化工等各種行業。
ICP-MS其檢出限非常低，但是對于總的離子量有限制，因此分析基體復雜體系的方法檢測限不一定比ICP-OES低。主要在環保/水質/電子材料（尤其是半導體行業）等方面運用較多。
另外由于ICP-MS對于所使用的試劑的純度、分析用水、實驗環境等要求均較高，而且儀器使用也較ICP-OES復雜，因此對于絕大部分分析用ICP-OES就足夠了。
