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任何高精儀器都考研其性能，優異性能的ICP光譜儀做篩選檢測時可以準確排查是否合格，將空白空間縮小;

　　有些ICP光譜儀對有些相似金屬識別率較低或者誤判，比如鎘譜線與X光管銠的電極征譜線重疊。甚至不能準確測定鎘;

　　　由于性能不足，可能發生錯判、誤判、無法判定等事件頻發，不確定的灰色部分比例大增。其后果必然是成本顯著提高、風險增加。

大部分ICP光譜儀的檢測穩定性受到X光管老化、環境溫度、電源波動等影響，使數值不準，有的ICP光譜儀X射線漏泄嚴重，危及操作人員的安全。

ICP光譜儀的關鍵性能

　　一、X線束光斑直徑

A.光斑直徑大小在使用中會體現出一些差別。目前光斑直徑從0.1mm到15mm不等。光斑小不受試樣面積限制，光斑大受材料不均勻性影響小。

二、檢測器

A.SDD：新型的SDD檢測器屬高純硅檢測器，穩定性好，檢測靈敏度高。

B.SSD：老款的SSD檢測器屬硅鋰檢測器，漂移大，檢測靈敏度低。

　　三、 X光管的電極材料

　　目前X線熒光ICP光譜儀基本上采用銠靶X光管，個別有鎢靶X光管的。

四、檢測方法和軟件

  A.帶補正的相對檢量線法：可以自動補償環境條件變化、供電變化、X管老化等對檢測數據的影響。

B.FP法、部分檢量線法：穩定性差。

C.光斑大小間接反映X光束的能效。大光斑（幾mm到十幾mm）通常采用準直器整理光束，被遮擋部分白白浪費掉;1mm以下小光斑采用導管整理光束，能量損失較少。

D.光斑大小根據實際測量需要選擇，光束能量損失通常制造商在軟件、濾光片等方面做適當補償。