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電感耦合等離子體光譜儀“點燃火短時熄火”的現象是指光譜儀在運行中啟動點火程序后，等離子炬“燃燒”幾分鐘后自行熄火。出現這種現象首先看計算機屏幕是否有對話框提示，繼續采用聽、看和摸等感官感應發生的現象來判定故障部位。具體步驟如下：
首先檢查氣體質量問題，先更換一瓶氬氣觀察現象;其次檢查光譜儀泵是否夾緊或破裂;接頭是否脫落，霧化器是否積水;主要表現為點燃后蠕動泵正常運轉(霧化器已提供)后熄滅;冷卻氣流量是否控制在(13~15)L/min;氬氣減壓閥和氣壓表發生故障導致氣壓不穩定也會發生這種現象，如果確認是它引起的故障可更換減壓閥來排除故障;運行的樣品與設定的條件及硬件附件不匹配，比如用分析水溶液的條件來分析有機樣品、高鹽等;空氣泄露，會降低氬氣的濃度，這是引起RF系統不能正常工作的常見原因，炬管點燃幾秒鐘后就熄滅，很可能就是空氣泄露。
霧化器在炬管點燃，光譜儀建立起正常的分析能力后開始工作，若光譜儀霧化器部分發生泄露時，檢查炬管、中新管、端帽及排氣等各部門o形環的密封情況，檢查其是否平整，表面有無隆起、收縮、裂痕等。霧化器堵塞、毛細管堵塞、霧化器噴嘴堵塞、循環泵夾沒固定或循環泵破裂都可能讓光譜儀產生這個問題。
如果看到點火后光譜儀循環水指示燈時閃時斷，火焰瞬間熄滅的現象，說明循環水冷卻效果不好，先檢查循環水集的連接管路是否泄漏。檢查循環水機的電源連接，檢查循環水機內循環液的液面。如果是光譜儀本身循環水已經污染不能用于冷卻，需要更換循環水，建議每半年更換一次循環水;二是由于系統泵壓不足，在正常情況下，循環水機的出水壓力應在(0.31~0.55)MPA范圍，首先檢查循環水泵是否有故障，如果沒有故障，可以在循環水管道中串聯一個水泵來增壓保證達到上述水壓值;還可以拆去磁儀表開關，使水流來解決。
光譜儀本身的原因有光譜儀調諧不好;點火光纖探頭太臟、有斷路或解除不良等現象。光纖檢測器在這里是檢測來自炬管的等離子炬亮光，如果炬管已點燃，但光纖檢測器不能接受到亮光，那么計算機系統就認為等離子炬管點燃后5s內，光纖檢測器沒有檢測到信號，就認為等離子炬沒有點燃。出現這個問題時，用無水酒精或其他中興溶液清潔光纖檢測器，若問題還存在，那么就必須更換光纖檢測器。
點火功率可能設置得太高。點火觸發器工作3s后，RF的功率大大小由AGC控制模塊上的點火電位器確定，觸發電位器工作在“開環”狀態下，即在點火時不存在反饋，因此，電位器的調整根靈敏。在氣體被離子化之前，樣機的電流值小于200mA，然后，再跳升到(400~700)mA。
檢查安全聯鎖系統為保證光譜儀的正常運行和操作人員的安全，ICP光譜儀還安裝了安全連鎖保護裝置，只要任何一個部位不正常，都無法進入點火系統，計算機會有程序提示。
