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電感耦合等離子體光譜儀(簡稱ICP光譜儀),由于具有高靈敏度,高精密度,低基體效應和具有同時多元素分析能力等一系列特點,自1975年出現商品儀器以來,很快在各分析領域得到廣泛應用,成為材料、環境、地礦、冶金、食品、化工、生化、商品檢驗及科研領域最通用的無機元素分析工具.ICP光譜儀的結構和技術也在不斷的改進和發展.1991年新的中階梯光柵固態檢測器ICP-OES儀器問世,即國內所說的全譜直讀電感耦合等離子體發射光譜儀.1993年國外生產的該類儀器進入中國市場,目前國內還沒有制造商將全譜直讀電感耦合等離子體發射光譜儀產業化.
近5年來的直讀IPC光譜儀行業的形態，有點像汽車產業的發展勢態：國外產品及技術已經非常成熟，新技術的研究和整合活動處于低谷，迫于國內產品的競爭壓力，部分廠商推出一些低成本低性能的產品，在一些傳統的高端產品上，受制于成熟的 技術平臺和產品構架，會做一些小的改進和模塊整合，以獲得少量的差異化。
ICP(Inductive Coupled Plasma Emission Spectrometer) 電感耦合等離子光譜發生儀 電感耦合等離子體(ICP)是目前用于原子發射光譜的主要光源.ICP具有環形結構`溫度高`電子密度高`惰性氣氛等特點,用它做激發光源具有檢出限低`線性范圍廣`電離和化學干擾少`準確度和精密度高等分析性能.ICP還可以作為原子化器,如以空心陰極燈為光源,ICP為原子化器的原子熒光光譜儀.這類儀器不采用單色器,以ICP為中心,在周圍安裝多個檢測單元(每一元素配一個檢測單元),形成了多元素分析系統.
ICP作為原子化器最大的優點在于原子化器具有很高的溫度,多種元素都可得到很好地原子化,散射問題也得到的克服.由計算機控制,燈電源順序地向各檢測單元的空心陰極燈供電(2,000次/秒),所產生的熒光由相應的光電倍增管檢測,光電轉換后的電信號在放大后由計算機處理,并報出各元素的分析結果.不過,值得提出的是,以ICP為原子化器的原子熒光光譜儀對難熔元素的測定靈敏度不高.
