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　　電感耦合等離子體光譜儀檢驗過程主要分三步，即激發、分光和檢測。

　　1）激發：利用激發光源使樣品蒸發氣化，離解或分解為原子狀態或者電離成離子狀態，原子及離子在光源中激發發光；

　　2）分光：利用光譜儀的光學元件將光源發射的光分解為按波長及級數分布的光譜；

　　3）檢測：利用光電器元件（光電倍增管，CCD，CID等）檢測光譜，按所測得的光譜波長對試樣進行定性分析，或按發射光強度進行定量分析，zui終得出樣品中各元素的百分含量。

　　電感耦合等離子體光譜儀自身價格昂貴，使用頻率高，儀器故障時維修費用少則幾千，多則幾萬，請廠家上門維修需較長的時間，影響化驗分析工作。筆者經過二十多年對多臺ICP的維護、維修，發現99%以上的故障是由于維保工作不到位引發的。因此，加強維護、細化維保ICP零部件工作是延長ICP工作壽命、降低儀器故障的關鍵。

　　電感耦合等離子體光譜儀ICP-AES法可以對固、液、氣態樣品直接進行分析。進樣技術有液體霧化進樣、氣體直接進樣、固體超微粒氣溶膠進樣。對于液體樣品分析的優越性是明顯的，對于固體樣品的分析，所需樣品前處理也很少，只需將樣品加以溶解制成一定濃度的溶液即可。通過溶解制成溶液再行分析，不僅可以消除樣品結構干擾和非均勻性，同時也有利于標準樣品的制備。分析速度快：多道儀器可同時測定30～50個元素，單道掃描儀器10分鐘內也可測定15個以上元素。而且已可實現全譜自動測定。可測定的元素之多，大概比任何類似的分析方法都要多，可以肯定目前還沒有一種同時分析方法可以與之相匹敵。