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原子發射光譜儀分為攝譜儀和光電直讀光譜儀兩類，后者又分為多道光譜儀、單道掃描

光譜儀和全譜直讀光譜儀等。 

原子發射光譜儀器的基本結構由四部分組成：激發光源 進樣系統 分光系統 檢測系統

其工作原理為，試樣溶液經進樣裝置霧化器將液體樣品霧化，進入ICP，受ICP炬的激發產生復合光，分光系統將其分解成按波長排列的光譜，檢測系統將各波長位置處的光譜強度轉換成電信號，再由計算機進行數據采集與處理，最后用屏幕顯示或打印輸出分析結果。

原子發射光譜儀的優點：

樣品范圍廣，分析元素多。原子發射光譜儀可以對固態、液態及氣態樣品進行直接分析，應用最廣泛也是優先采用的是溶液霧化法。可以進70多種元素的測定，可測金屬元素、稀土元素，而且對很多樣品中的非金屬元素碳、硫、磷、氯等也可以進行分析測定。

檢出限低、準確度高、線性范圍寬且多種元素可同時測定等優點。檢出限能達到μg/L至mg/L水平。

選擇性好。每一種元素都有一些可供選用而不受其他元素干擾的特征譜線，若選擇合適的實驗條件，能同時測定多種元素，無需進行復雜的分離過程。

分析速度快，可多種元素同時進行測定。相同的激發源，在不改變分析條件的情況下，多種元素同時測定是原子發射光譜儀最顯著的特點。