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ICP光譜儀，是把比較復雜光分解為光譜線的一種新型科學儀器。它一般被密封在一個恒溫的機箱里，小巧玲瓏，操作便捷，原子發射光譜儀裝備了超高靈敏度的光電倍增管，在全量程范圍內使檢測器的動態范圍能鑒別出成分的最微小的差別。原子發射光譜儀有火花原子發射光譜儀，光電原子發射光譜儀，手持式光譜儀，便攜式光譜儀，能量色散光譜儀，真空原子發射光譜儀等多種品種。原子發射光譜儀廣泛應用于鑄造、鋼鐵、金屬回收和冶煉和航天航空、電力、軍工、化工、高等院校和商檢、質檢等部門的應用。